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半導體芯片制造中，高純度水是核心輔料，貫穿晶圓清洗、蝕刻等全流程。而水中微量氟離子，堪稱影響產(chǎn)品品質(zhì)、威脅環(huán)境的“隱形殺手"，其精準檢測是行業(yè)需要的技術環(huán)節(jié)。
氟離子是半導體生產(chǎn)的必然工藝副產(chǎn)物。含氟試劑廣泛用于晶圓蝕刻、清洗，未全反應的氟化物會混入廢水，成為氟離子主要來源。
此外，冷卻劑、清洗劑等輔料也可能含氟，導致氟離子在水循環(huán)系統(tǒng)累積。無論是工藝廢水還是回用超純水，氟離子都需嚴格管控。
納米級制程對水質(zhì)要求高，低濃度氟離子也會引發(fā)問題：腐蝕晶圓金屬薄膜與絕緣層，導致電路缺陷、良品率下降；同時干擾光刻等后續(xù)工藝精度。
回用水中氟離子超標會形成“污染循環(huán)"，晶圓廠通常將其內(nèi)控濃度設為0.1mg/L以下，遠超常規(guī)排放標準。
氟化物有毒且易累積，不當排放會污染水土、危害人體健康。國內(nèi)外已出臺嚴格標準，管控半導體行業(yè)氟離子排放。
國標GB39731-2020規(guī)定，氟化物直接排放限值10mg/L、間接排放20mg/L；地方標準更嚴，以上海DB31/199-2018為例，直接排放限值收緊至8mg/L，還強制在線監(jiān)測設備具備校準、數(shù)據(jù)存儲及遠程傳輸功能，超標將面臨重罰。
其中分光光度法、離子色譜法因精度或成本問題，在半導體行業(yè)較少用于量產(chǎn)工藝監(jiān)測，僅作特殊樣品驗證。
PM8202I控制器采用防水防氣全密封外殼,搭配Bsens710可連續(xù)在線監(jiān)測水體中氟離子濃度的變化?？蓱糜诎雽w、太陽能材料、含氟電鍍等行業(yè)氟離子測量。
戈普儀器在線氟離子水質(zhì)分析儀PM8202I搭配氟離子電極Bsens710，可對水中氟離子進行實時的穩(wěn)定監(jiān)測，協(xié)助企業(yè)降低生產(chǎn)風險、為工藝調(diào)整提供即時數(shù)據(jù)，助力企業(yè)實現(xiàn)降本增效與綠色生產(chǎn)雙贏。
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